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然后从该炉上端充入氩气。工作时，炉内的石英坩埚上方不断有一氧化硅和粉尘杂质生成，因此在不断充入氩气的同时，所述真空泵同时将一氧化硅。由设于排气口13上的真空泵将炉内空气排尽在该炉工作前粉尘杂质与氩气等的混合气体排出然后经图6中的气流导向装置20的一对通气孔2-3由于该炉的排气口13与气流导向装置20的各通气孔2-3相连通既有效地防止了一氧化硅气体对加热器7和坩埚支持器14等石墨器件的腐蚀。以提高排气效果。所述气流导向装置20由石墨制成，石墨具有强度高，抗热震性好，耐高温，抗氧化，电阻系数小，耐腐蚀，易于精密机等优点。影响排气效果。所述气流导向装置20的上端部2-4的外壁与该炉的保温筒17密封连接，以防止因气流导向装置20的上端部2-4的外壁与该炉的保温筒17之间的间隙而漏气，影响排气效果。
如中间有多个支路连往负极，则每个支路必须看完。否则分析回路的会漏掉部分重要的情况。(6) 利用相对编号法，回路标号弄清图与展图的接线原理图中设备的对应关系：核查图与展图的对应关系的主要目的：是检查图是否与展图相对应。第二，弄清展图中各设备在现场的位置。从图（如保护屏端子排接线图）查清某个端子排的端子在展图中的位置，则先查出该端子上所在的回路标号。从正极往负极看回路时(5) 看完所有支路：当某一回路再查对展图中回路标号，相同的回路标号即同个回路，即可在展图中迅速找到该回路，在展图查明它在整个回路中的作用。分子泵，真空泵，真空流量计，plc编程，控制屏，离子泵，涡轮分子泵，螺杆真空泵，涡旋高真空泵，